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ガスバリアー性清浄袋:BSC バッグ

この素材は昭和電工プラスチックプロダクツ()で開発したファインポリマーと薄膜アルミニウムを複合し、ガスバリア性を持たした素材をクリーンルーム内で超純水で洗浄したものです。表面清浄度は米国連邦規格209Dで規定するクラス10に対応できるものです。一般の清浄袋に比べ、微粒子、化学成分等のコンタミネーションをコントロールできるものと確信しております。

評価表(粒径0.3µ以上の粒子の脱離温度)

BSCバッグ ガスバリア性能表

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