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日本シーアイシー研究所

日本シーアイシー技研株式会社

　

　

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ケミカルコンタミネーションコントロール

   化学汚染対策には、

ガスバリアー性清浄袋：   BSC バッグ・ロールを

P8050067.jpg (18794 バイト)

写真   新施設に設置された大型(幅1mまで対応）シート洗浄機、製袋機、シーラー

この素材は昭和電工プラスチックプロダクツ(株)で開発したファインポリマーと薄膜アルミニウムを複合し、ガスバリア性を持たした素材をクリーンルーム内で超純水で洗浄したものです。

表面清浄度は米国連邦規格209Dで規定するクラス10に対応できるものです。一般の清浄袋に比べ、微粒子、化学成分等のコンタミネーションをコントロールできるものと確信しております。

データシート

１.｢湿式表面清浄度評価法」によるBSCバッグの表面清浄度評価データ

                       評 価 表 (粒径0.3μm以上の粒子の脱離濃度)

　        -9〜0 (A)      11〜30 (D)     評価値 （D-A）
         平均           3.0            15.7            12.7
       標準偏差           1.70            4.45           　−
         最大値           6.0            27.0

　−
         最小値           1.0              8           　−

2. BSCバッグガスバリア性能表

      構成・組織 試験    項目                透湿度及び気体透過度

 （単位）   （試験方法） （値）   （参考）
PET#12/Ac/LDPE 15μ/Al 7μ/Ac/LD

PE15μ/LLD 50μ

Al 多層フィルム

 水蒸気透湿度

　

酸素透過度

 g/m2・24h 40℃

　

cc/m2/24h 40℃×90%

 JIS-Z-0208

　

JIS-K-7126

 検出限界以下

　

検出限界以下

 厚さ100μm

　

100μm

　

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最終更新日: 1999/09/09