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1991年東京工業大学大学院情報環境学藤井研究室で開発された。

参照論文： 藤井修二、湯浅和博、長南健司：　液中微粒子濃度測定による表面清浄度評価、第12回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集 財団法人 日本空気清浄協会

湿式表面清浄度評価データ （例）

測定者 日本シーアイシー研究所 木村 照〔元工技院化学技術研究所主任研究員〕

測定区   FED/STD 209D Class10 : Air Velocity 0.7m/sec.

測定器   RION KS-58 （光散乱光式粒子検出器）KL-10（液中微粒子径数器）

             KZ-30S（シリ ンジサンプラ）

サンプリング 10ml/min

試料    ハードディスク・カバー蓋内面（SCC洗浄後）

測定法  超純水＋IPAを満ち出した水槽の溶液を、液体フィルターを通して循環し、系内溶液の清浄度を上げた後、ポンプを停止、バックグランド濃度を計測、次に試料を水槽中に投入し試料表面に付着している粒子を液中に脱離させ、液中の粒子濃度を計測し、評価する。

評価表  （粒径0.3μm以上の粒子の脱離濃度）