SCC（精密接状）の効果

一般的に樹脂容器にも低溶出のグレードがあり、SCCとの組み合わせでハイグレードの清浄度が得られます。左のデータは、汎用樹脂容器と汎用の洗浄の組み合わせと低溶出樹脂容器とSCC洗浄の組み合わせを比較したパーティクルデータとなります。

精密洗浄品目

液晶及びハードディスク製造のためのクリーンルームで使用するウェハーキャリア、部品、移送用包材、各種機器類などの精密洗浄。

FOUP・ FOSB等の搬送容器
- キャリアボックス類
- ICチップトレー類
- マスクケース類
ボトル・バイアル瓶等の容器類
- 分析用に使用する容器
- バイアル瓶の洗浄・滅菌
- ゴーグル等の洗浄・滅菌
- サンプル出荷用の少量、高清浄度が必要な容器
その他
- PVAスポンジ・PVAスポンジロール
- アッセンブル前の精密機械パーツ
- クリーンルーム用治工具
- ガスパッキン・Oリング類

SCCにおける評価・検査システム

※純水を使用したＬＰＣ測定の場合、試料の投入などの前処理段階で発生するマイクロバブル（気泡）が測定値に大きく影響する。

湿式表面剥離可能測定（LPC測定）

液中パーティクルカウンターを使用した容器等の表面の清浄度評価に純水を使用する場合、液中に存在するマイクロバブル（気泡）の影響により、儀計数が生じ測定の再現性確保に問題が生じることがある。CICグループでは東京工業大学大学院情報環境学の藤井研究室によって開発された評価方法を採用し、マイクロバブルの影響を排除した計測が可能です。