創業40年 クリーンウェアの特殊クリーニングとクリーンスーツ類の販売・リースのことなら全国に展開する（14社 24工場）日本CIC研究所グループにお任せください。
お見積り・ご注文・お問い合わせはこちらへ
03-3754-0896
SCC 精密洗浄の工程
液晶及びハードディスク製造のためのクリーンルームで使用するウェハーキャリア、部品、移送用包材、各種機器類などの精密洗浄。
・ウェハーのキャリアボックス類 ・ICチップトレイ類 ・ホトマスクのケース類
・ピンセット類等CR内使用する各種機器類 ・クリーンルーム用部品移送用包材等
・液晶及びハードディスク製造プロセス機器等 ・ゴーグル ・培養容器
湿式表面清浄度評価法
東京工業大学大学院情報環境学の藤井研究室によって開発された評価方法で、洗浄に使用した超純水中に排出したパーティクルを測定する方法。
品質分析に弊社では、液中パーティクルカウンター（LPC）による、洗浄後の微粒子測定、カールフィッシャー法による水中測定を行っています。
超純水を満たした水槽の溶液を、液体フィルターを通して循環し、系内溶液の清浄度を上げた後、ポンプを停止、バックグランド濃度を計測、次に試料を水槽中に投入し試料表面に付着している粒子を液中に脱離させ、液中濃度を計測し、評価します。
最終製品のパーティクル測定を定期的に行い信頼性の確立・維持に努めています。
