クリーンルームの清掃について、まず認識しなければならないことは「清掃作業そのものが汚染行為になる可能性がある」ということです。

方法、用具、手順など、どれか一つが間違っていても汚染の原因となってしまうことを認識しましょう。

清掃方法としては、真空掃除機によるバキューム+純水による拭き清掃が基本になります。

真空掃除機は、セントラル方式かHEPA・ULPAフィルター内蔵のクリーンルーム用掃除機を使用します。バキュームは、比較的大きな粒子を取り除く方法といえるでしょう。

拭き清掃は、水で濡らしたワイパー・モップを用いた清掃で、残存する小さな粒子の除去に対応します。
ここで使用する水は純水を準備し、汚れ水での汚染を防止するため頻繁な交換をお奨めします。
ワイパーならびにモップカバーはポリエステル100％のマイクロファイバー製をお使いください。

必要に応じて洗剤を使用する場合も、クリーンルームで使用可能なタイプを選定し、最終的に純水で十分に拭き上げることが必要です。

基本的には上部から下部へ、奥から手前へ、狭所から広所へという順番で行います。拭き方も常に一方向に、1ストロークで行うことで再汚染を防ぐことができます。